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Explorez PECVD vs. CVD : les principales différences en termes de température, de qualité des films et d'applications pour le dépôt de couches minces sur des substrats sensibles à la chaleur.
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Explorez la polyvalence des matériaux du PECVD pour le dépôt de diélectriques, de semi-conducteurs et de revêtements protecteurs tels que le SiO₂, le a-Si et le DLC à basse température.
Apprenez à ajuster le flux de gaz, la puissance du plasma et la température en PECVD pour accorder les propriétés du film telles que l'indice de réfraction, les contraintes et la densité pour vos applications.
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Découvrez les avantages du PECVD : fonctionnement à basse température, films uniformes, taux de dépôt élevés et contrôle précis pour les substrats sensibles à la température et la fabrication à haut débit.
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Découvrez les films PECVD tels que SiO₂, Si₃N₄, a-Si:H, DLC et SiC pour l'électronique, l'optique et les revêtements à basse température.
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