
CVD & PECVD Furnace
Four rotatif incliné pour le dépôt chimique amélioré par plasma (PECVD)
Numéro d'article : KT-PED
Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations
- Température de chauffage
- ≤800℃
- Degré de vide
- ≤5×10-5Pa
- Puissance de sortie
- 500W-1000W

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Machine de revêtement par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
Systèmes PECVD avancés de KINTEK : Revêtement de précision, adapté à vos besoins
S'appuyant sur une R&D exceptionnelle et une fabrication interne, KINTEK fournit des systèmes de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) de pointe, conçus pour divers laboratoires et applications industrielles. Le PECVD est une technique sophistiquée de dépôt de couches minces sous vide qui utilise le plasma pour activer les gaz précurseurs. Elle permet de créer des revêtements uniformes de haute qualité à des températures nettement inférieures à celles du dépôt chimique en phase vapeur (CVD) traditionnel, ce qui élargit les possibilités pour les substrats sensibles à la chaleur (comme les plastiques) et une gamme variée de matériaux de revêtement (y compris les diélectriques, les semi-conducteurs et les isolants).
Nos machines PECVD sont une offre clé au sein de la gamme complète de solutions avancées de fours à haute température de KINTEK, qui comprend également des fours à moufle, des fours tubulaires, des fours rotatifs, des fours à vide et à atmosphère, et d'autres systèmes CVD/MPCVD. Nous sommes fiers de notre forte capacité de personnalisation, garantissant que votre système PECVD est conçu avec précision pour répondre à vos exigences uniques en matière d'expérimentation et de production.
Caractéristiques principales
Les machines de revêtement par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) de KINTEK offrent une gamme de caractéristiques conçues pour une performance et une polyvalence supérieures :
- Dépôt à basse température : Permet la formation d'un film de haute qualité sur des substrats délicats ou à faible point de fusion sans dommage thermique, ce qui élargit considérablement la compatibilité des matériaux.
- Taux de dépôt élevés : Permet une croissance rapide du film, maximisant le débit, réduisant le temps de traitement et augmentant la productivité globale.
- Films uniformes et résistants aux fissures : Produit des revêtements dont l'épaisseur et les propriétés sont exceptionnellement homogènes sur le substrat, minimisant ainsi les défauts tels que les craquelures, pour des résultats fiables et durables.
- Excellente adhérence au substrat : Assure une forte adhérence entre le film déposé et le matériau du substrat, ce qui permet d'obtenir des performances durables et d'éviter la délamination.
- Capacités de revêtement polyvalentes : Permet le dépôt d'une large gamme de matériaux, tels que SiO2, SiNx, SiOxNy, et bien d'autres, répondant ainsi aux besoins d'applications diverses.
- Revêtement conforme sur des géométries complexes : Capable de revêtir uniformément des substrats aux formes et topographies complexes, assurant une couverture complète et des performances optimales.
- Conception conviviale : Conçu pour ne nécessiter que peu d'entretien et une installation simple, il minimise les temps d'arrêt et simplifie l'intégration dans votre flux de travail.
Caractéristiques techniques
Porte-échantillon | Taille | 1-6 pouces |
Vitesse de rotation | 0-20rpm réglable | |
Température de chauffage | ≤800℃ | |
Précision du contrôle | ±0.5℃ Contrôleur PID SHIMADEN | |
Purge de gaz | Débitmètre | CONTRÔLEUR DE DÉBITMÈTRE MASSIQUE (MFC) |
Canaux | 4 canaux | |
Méthode de refroidissement | Refroidissement par circulation d'eau | |
Chambre à vide | Taille de la chambre | Φ500mm X 550mm |
Port d'observation | Port d'observation avec déflecteur | |
Matériau de la chambre | Acier inoxydable 316 | |
Type de porte | Porte à ouverture frontale | |
Matériau du capuchon | Acier inoxydable 304 | |
Orifice de la pompe à vide | Bride CF200 | |
Orifice d'entrée de gaz | φ6 Connecteur VCR | |
Puissance du plasma | Puissance de la source | Alimentation DC ou RF |
Mode de couplage | Couplage inductif ou capacitif à plaque | |
Puissance de sortie | 500W-1000W | |
Puissance de polarisation | 500v | |
Pompe à vide | Pompe à vide | Pompe à vide à palettes 15L/S |
Orifice de la turbopompe | CF150/CF200 620L/S-1600L/S | |
Orifice de décharge | KF25 | |
Vitesse de la pompe | Pompe à palettes:15L/s,Turbo pompe:1200l/s或1600l/s | |
Degré de vide | ≤5×10-5Pa | |
Capteur de vide | Jauge à vide à ionisation/résistance/jauge à film | |
Système d'alimentation | Alimentation électrique | AC 220V /380 50Hz |
Puissance nominale | 5kW | |
Dimensions de l'appareil | 900mm X 820mm X870mm | |
Poids | 200 kg |
Applications
Les machines de revêtement par dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) de KINTEK offrent une solution polyvalente pour un large éventail d'industries et d'applications de pointe :
- Eclairage LED : Dépôt de films diélectriques et semi-conducteurs de haute qualité, essentiels pour des diodes électroluminescentes (DEL) efficaces et durables.
- Semi-conducteurs de puissance : Formation de couches isolantes, d'oxydes de grille et d'autres composants de films critiques dans les dispositifs à semi-conducteurs de puissance.
- MEMS (systèmes microélectromécaniques) : Fabrication de couches minces précises pour les capteurs, les actionneurs et d'autres dispositifs à micro-échelle.
- Revêtements optiques : Dépôt de revêtements antireflets, de filtres optiques, de couches protectrices et d'autres composants optiques fonctionnels.
- Cellules solaires à couche mince : Production de couches minces de silicium amorphe et microcristallin, ainsi que d'autres matériaux semi-conducteurs, pour les dispositifs photovoltaïques.
- Modification des surfaces : Amélioration des propriétés de surface des matériaux, notamment de la résistance à la corrosion, de la résistance à l'usure, de la dureté et de la biocompatibilité.
- Nanotechnologie : Synthèse de nanomatériaux avancés, tels que les nanoparticules, les nanofils et les films ultraminces pour de nouvelles applications.
Pourquoi s'associer à KINTEK pour la technologie PECVD ?
Choisir KINTEK pour vos besoins en PECVD signifie investir dans la qualité, la fiabilité et les solutions sur mesure :
- Personnalisation approfondie : Nous sommes spécialisés dans la configuration de systèmes PECVD selon vos spécifications exactes, assurant une performance optimale pour vos applications uniques et vos objectifs de recherche.
- R&D et fabrication avancées : Notre expertise interne stimule l'innovation, ce qui nous permet d'offrir une technologie PECVD de pointe.
- Construction de haute qualité : Nos systèmes se caractérisent par des conceptions rigides construites avec des matériaux de première qualité tels que l'acier inoxydable pour assurer la stabilité, la durabilité et une durée de vie prolongée.
- Des performances fiables : Conçues pour obtenir des résultats constants, nos machines PECVD produisent des films minces uniformes de haute qualité avec une excellente adhérence.
- Assistance complète : De l'installation facile à la maintenance réduite, nous veillons à ce que nos systèmes soient conviviaux et soutenus par un service clientèle réactif.
- Polyvalence : Nos machines peuvent déposer une large gamme de matériaux, ce qui les rend adaptées à divers processus industriels et de recherche.
Principe de fonctionnement
Le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD) est un procédé qui utilise le plasma (un gaz ionisé) pour stimuler et améliorer les réactions chimiques pendant le processus de dépôt de couches minces. Contrairement au dépôt en phase vapeur conventionnel qui repose uniquement sur des températures élevées pour stimuler les réactions, le dépôt en phase vapeur assisté par plasma utilise un plasma à haute énergie. Ce plasma énergise les gaz précurseurs, ce qui entraîne la formation d'espèces réactives à des températures de substrat nettement inférieures. Ces espèces réactives s'adsorbent ensuite sur la surface du substrat et subissent des réactions chimiques pour former un film solide et fin. Cette méthode permet de déposer divers films de haute qualité, tels que SiO2, SiNx et SiOxNy, et est particulièrement efficace pour créer des films minces de silicium amorphe ou microcristallin utilisés dans les cellules solaires. Les températures de traitement plus basses minimisent les contraintes thermiques sur les substrats, réduisent les trous d'épingle et préviennent les fissures, ce qui rend le procédé PECVD idéal pour une plus large gamme de matériaux et d'applications.
Personnalisez votre solution PECVD avec KINTEK
Prêt à améliorer vos capacités de dépôt de couches minces ? Les experts de KINTEK sont à votre disposition pour discuter des besoins et des défis spécifiques de votre projet. Nous pouvons vous aider à configurer un système de dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma parfaitement adapté à vos exigences expérimentales ou de production. Bénéficiez de notre expertise en matière de personnalisation et de notre technologie avancée pour obtenir des résultats supérieurs.
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FAQ
Qu'est-ce Qu'un Four Tubulaire Et Comment Fonctionne-t-il ?
Quelles Sont Les Principales Applications D'un Four Tubulaire Rotatif ?
Quel Est Le Principe D'un Four Rotatif ?
À Quoi Sert Un Four Rotatif ?
Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours Tubulaires Multizones ?
Quelles Sont Les Applications Courantes D'un Four à Tube Divisé ?
Qu'est-ce Qu'un Four Tubulaire Vertical ?
Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours Tubulaires ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'un Four à Tube Rotatif ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Rotatif ?
Quels Sont Les Principaux Types De Fours Rotatifs Disponibles ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques Des Fours Tubulaires Multizones ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'un Four à Tube Fendu ?
Quelles Sont Les Applications D'un Four Tubulaire Vertical ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire ?
Comment Fonctionne Un Four Tubulaire Rotatif ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'un Four Rotatif ?
Comment Fonctionne Un Four Rotatif ?
Comment Fonctionne Un Four Tubulaire Multizone ?
Comment Fonctionne Un Four à Tube Divisé ?
Quels Sont Les Avantages D'un Four Tubulaire Vertical ?
Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Disponibles ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire Rotatif ?
Quelles Sont Les Applications Courantes D'un Four Rotatif ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire Multizone ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four à Tube Divisé ?
Comment Fonctionne Un Four à Tube Vertical ?
Quelles Plages De Température Les Fours Tubulaires Peuvent-ils Atteindre ?
Quelle Température Un Four Tubulaire Rotatif Peut-il Atteindre ?
Comment Un Four Rotatif Traite-t-il Différents Matériaux ?
Quels Sont Les Dispositifs De Sécurité Dont Sont équipés Les Fours Rotatifs ?
Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Multizones Disponibles ?
Quelle Température Un Four à Tubes Fendus Peut-il Atteindre ?
Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Verticaux Disponibles ?
Les Fours Tubulaires Peuvent-ils Fonctionner Sous Différentes Atmosphères ?
Quels Types De Matériaux Peuvent être Traités Dans Un Four Tubulaire Rotatif ?
Les Fours Rotatifs Peuvent-ils être Personnalisés Pour Des Applications Spécifiques ?
Pourquoi La Conception En Deux Parties Est-elle Avantageuse Dans Un Four Tubulaire ?
Pourquoi Choisir Un Four Tubulaire Vertical Plutôt Qu'horizontal ?
Qu'est-ce Qui Rend Les Fours Tubulaires KINTEK Si Spéciaux ?
Quelles Plages De Température Les Fours Tubulaires Verticaux Peuvent-ils Atteindre ?
Les Fours Tubulaires Verticaux Sont-ils Personnalisables ?
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This machine is a game-changer! The precision and efficiency are unmatched. Worth every penny!
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5
Incredible technology! The inclined rotary feature makes all the difference. Superb quality!
4.7
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5
Fast delivery and easy setup. The performance exceeds expectations. Highly recommend!
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5
Top-notch durability and advanced features. This machine is built to last. Impressive!
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The PECVD process is flawless. Such a reliable and high-quality machine. Love it!
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Great value for money. The technology is cutting-edge and the results are consistent.
4.9
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Exceptional performance! The rotary design enhances uniformity. A must-have for labs!
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5
Outstanding machine! The plasma enhancement is brilliant. Delivered faster than expected.
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Perfect for high-throughput applications. The build quality is exceptional. Very satisfied!
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5
Innovative and reliable. The inclined tube design is genius. Works like a charm!
4.8
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5
Fantastic investment! The machine delivers consistent, high-quality results. Highly impressed!
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Four rotatif incliné pour le dépôt chimique amélioré par plasma (PECVD)
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