CVD & PECVD Furnace
Machine à four tubulaire CVD à zones de chauffage multiples pour équipement de dépôt chimique en phase vapeur
Numéro d'article : KT-CTF14
Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations
- Température maximale
- 1400℃
- Zone de chauffage
- 2x450mm
- Précision du contrôle de la température
- ±1℃
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Découvrez les fours tubulaires CVD multizones avancés de KINTEK
Chez KINTEK, nous tirons parti d'une R&D exceptionnelle et d'une fabrication interne pour fournir à divers laboratoires des solutions avancées de fours à haute température. Nos fours tubulaires CVD multizones sont conçus pour la précision, la fiabilité et l'adaptabilité, afin d'améliorer vos processus de recherche et de production.
Présentation du produit : Four tubulaire CVD multizones de chauffage
Schéma de la structure typique de la chambre de réaction d'un équipement PECVD tubulaire 1. Trou d'évacuation;2. Bride d'extrémité;3. Bride de refroidissement de l'eau de la queue;4. Bride d'étanchéité de la queue;5. Bride de fixation de la queue;6. Tige d'électrode;7. Bateau en graphite;8. Tube de four à quartz;9. Bride de fixation avant;10. Bride avant de refroidissement de l'eau;11. Bride d'entrée d'air avant;12. Porte du four
Qu'est-ce qu'un four tubulaire à dépôt chimique en phase vapeur multizone ?
Un four tubulaire à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) multizone est un équipement de laboratoire spécialisé conçu pour déposer des couches minces sur des substrats par le biais de réactions chimiques de gaz ou de vapeurs. L'avantage essentiel de la conception "multizone" réside dans ses zones de chauffage multiples, contrôlées indépendamment. Cela permet une manipulation précise du profil de température à l'intérieur du four, un facteur crucial pour de nombreux procédés CVD car la température influence directement les propriétés du film déposé. Ces fours sont indispensables à la fois pour la recherche et le développement de pointe et pour les applications de production exigeantes.
Pourquoi choisir les fours CVD multizones de KINTEK ?
Les fours tubulaires CVD multizones de KINTEK sont conçus pour offrir des performances et une adaptabilité supérieures pour vos processus critiques. Voici comment nous renforçons votre travail :
- Précision de température inégalée : Des zones de chauffage indépendantes permettent de créer des champs de température constante étendus ou des gradients de température contrôlés avec précision, essentiels pour un dépôt uniforme et la synthèse de matériaux spécialisés.
- Contrôle avancé du processus : Le contrôle de la température programmable PID garantit une excellente précision. Associé à des capacités de contrôle centralisé et à distance, vous gagnez en flexibilité et en facilité de contrôle.
- Alimentation en gaz stable et précise : Les débitmètres massiques MFC (Mass Flow Controller) de haute précision garantissent des vitesses d'alimentation en gaz précises et stables, y compris des options de pré-mélange des gaz sources, essentielles pour une qualité de film constante.
- Environnement fiable à vide poussé : Des brides de vide robustes en acier inoxydable avec différents ports d'adaptation assurent une excellente étanchéité, permettant d'atteindre et de maintenir des degrés de vide élevés nécessaires pour les processus CVD sensibles.
- Fonctionnement et analyse des données conviviaux : Certains modèles, comme le KT-CTF14 Pro, sont dotés d'un écran tactile TFT de 7 pouces qui simplifie le réglage des programmes et facilite l'analyse des données historiques.
- Polyvalence pour des applications diverses : Nos fours ne sont pas limités au CVD ; ils sont également idéaux pour la diffusion, le recuit, le frittage et d'autres traitements thermiques sous vide ou sous atmosphère contrôlée.
- Conception économe en énergie : Dotés d'une isolation en fibre céramique de haute qualité et d'une structure à double couche, nos fours minimisent les pertes de chaleur, réduisant ainsi les températures extérieures et économisant l'énergie.
- Matériaux durables et personnalisables : Les tubes des fours sont disponibles dans différents matériaux tels que l'acier résistant à la chaleur, le verre de quartz de haute pureté et la céramique, afin de s'adapter à divers environnements chimiques et exigences en matière de température.
Principe de fonctionnement
Le four tubulaire CVD à zones de chauffe multiples utilise le procédé de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour déposer des couches minces sur des substrats. Des précurseurs gazeux, généralement des composés métallo-organiques et/ou des hydrures, sont introduits dans la chambre du four. Ces précurseurs réagissent chimiquement à des températures contrôlées pour former un film solide sur le substrat. Les multiples zones de chauffage du four permettent un contrôle précis de la température de dépôt et du gradient de température sur le substrat, ce qui permet de déposer des films de haute qualité avec des propriétés personnalisées telles que l'épaisseur, la composition et la cristallinité. Un système de vide est intégré pour éliminer les impuretés et contrôler la pression de dépôt, garantissant ainsi des conditions de processus optimales.
Applications
Nos fours tubulaires CVD à zones de chauffe multiples sont largement utilisés dans divers domaines de pointe, notamment :
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) : Croissance de couches minces pour les appareils électroniques, les semi-conducteurs, les cellules solaires, les revêtements et les nanomatériaux.
- Diffusion : Dopage précis des semi-conducteurs et des métaux.
- Recuit : Traitement thermique des matériaux pour améliorer leurs propriétés structurelles et physiques.
- Frittage : Liaison de matériaux en poudre à l'aide d'une chaleur et d'une pression contrôlées pour former des structures solides.
- Thermotraitements : Une large gamme de procédés de chauffage et de refroidissement contrôlés pour la recherche et la modification des matériaux.
- Analyse et détermination des éléments : Préparation d'échantillons à des fins d'analyse.
- Traitement des matériaux : Trempe, recuit et revenu de petites pièces d'acier, développement de céramiques électroniques et d'autres nouveaux matériaux.
Spécifications techniques
| Modèle de four | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| Température maximale | 1400℃ |
| Température de travail constante | 1300℃ |
| Matériau du tube du four | Tube en Al2O3 de haute pureté |
| Diamètre du tube du four | 60 mm |
| Zone de chauffage | 2 x 450 mm |
| Matériau de la chambre | Fibre polycristalline d'alumine |
| Élément chauffant | Carbure de silicium |
| Vitesse de chauffe | 0-10℃/min |
| Couple thermique | Type S |
| Régulateur de température | Régulateur PID numérique/écran tactile |
| Précision du contrôle de la température | ±1℃ |
| Unité de contrôle précis du gaz | |
| Débitmètre | Débitmètre massique MFC |
| Canaux de gaz | 4 canaux |
| Débit |
MFC1 : 0-5SCCM O2
MFC2 : 0-20SCMCH4 MFC3 : 0- 100SCCM H2 MFC4 : 0-500 SCCM N2 |
| Linéarité | ±0,5 % DE L'E.M. |
| Répétabilité | ±0,2 % DE L'E.M. |
| Tuyau et vanne | Acier inoxydable |
| Pression de fonctionnement maximale | 0,45 MPa |
| Contrôleur de débitmètre | Contrôleur numérique à bouton/écran tactile |
| Unité de vide standard (en option) | |
| Pompe à vide | Pompe à vide à palettes |
| Débit de la pompe | 4L/S |
| Orifice d'aspiration du vide | KF25 |
| Jauge à vide | Jauge à vide Pirani/Résistance en silicone |
| Pression nominale du vide | 10Pa |
| Unité de vide poussé (en option) | |
| Pompe à vide | Pompe à palettes+pompe moléculaire |
| Débit de la pompe | 4L/S+110L/S |
| Port d'aspiration du vide | KF25 |
| Jauge à vide | Jauge à vide composée |
| Pression nominale du vide | 6x10-5Pa |
| Les spécifications et configurations ci-dessus peuvent être personnalisées. | |
Paquet standard
| Non. | Description | Quantité |
|---|---|---|
| 1 | Fourneau | 1 |
| 2 | Tube de quartz (ou autre matériau selon la commande) | 1 |
| 3 | Jeu de brides à vide | 2 |
| 4 | Bloc thermique du tube | 2 |
| 5 | Crochet du bloc thermique du tube | 1 |
| 6 | Gant résistant à la chaleur | 1 |
| 7 | Unité de contrôle précis du gaz (si commandée) | 1 |
| 8 | Unité de vide (si commandée) | 1 |
| 9 | Manuel d'utilisation | 1 |
Une personnalisation approfondie pour vos besoins uniques
KINTEK excelle dans la fourniture de solutions de fours profondément personnalisées pour répondre précisément aux exigences expérimentales et de production uniques. Au-delà de nos configurations standard, nous proposons un large éventail de configurations et de modifications en option :
- Détection et surveillance des gaz dans le tube (par exemple, H2, O2).
- Systèmes indépendants de surveillance et d'enregistrement de la température du four.
- Port de communication RS 485 pour le contrôle à distance par PC et l'exportation des données.
- Options polyvalentes de contrôle du débit d'alimentation en gaz, y compris divers débitmètres massiques et débitmètres à flotteur.
- Régulateurs de température à écran tactile de pointe, dotés d'interfaces conviviales et de capacités de programmation étendues.
- Configurations complètes de stations de pompage à vide poussé, comprenant des pompes à vide à palettes, des pompes moléculaires, des pompes à diffusion, etc.
- Dimensions des fours, configurations des zones de chauffage et choix des matériaux sur mesure.
Faites-nous part de votre défi et nous concevrons la solution.
Partenaire de KINTEK pour vos solutions à haute température
Avec une base solide en R&D et en fabrication interne, KINTEK se consacre à fournir aux laboratoires du monde entier des systèmes avancés de fours à haute température, y compris des fours à moufle, des fours tubulaires, des fours rotatifs, des fours à vide et à atmosphère, et des systèmes CVD/PECVD/MPCVD spécialisés. Notre engagement en faveur d'une personnalisation poussée garantit que vous recevrez un four parfaitement adapté à vos objectifs expérimentaux spécifiques.
Vous êtes prêt à améliorer vos capacités de traitement des matériaux et de recherche ? Discutez de vos besoins avec notre équipe d'experts.
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FAQ
Qu'est-ce Qu'un Four Tubulaire Et Comment Fonctionne-t-il ?
Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours Tubulaires Multizones ?
Qu'est-ce Qu'un Four Tubulaire Vertical ?
Qu'est-ce Qu'un Four à Induction Sous Vide ?
Quelles Sont Les Principales Applications D'un Four à Vide ?
À Quoi Sert Un Four Atmosphérique ?
Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours Tubulaires ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques Des Fours Tubulaires Multizones ?
Quelles Sont Les Applications D'un Four Tubulaire Vertical ?
Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours à Induction Sous Vide ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'un Four à Vide ?
Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'un Four à Atmosphère ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire ?
Comment Fonctionne Un Four Tubulaire Multizone ?
Quels Sont Les Avantages D'un Four Tubulaire Vertical ?
Comment Fonctionne Un Four à Induction Sous Vide ?
Comment Fonctionne Un Four à Vide ?
Comment Fonctionne Un Four à Atmosphère ?
Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Disponibles ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire Multizone ?
Comment Fonctionne Un Four à Tube Vertical ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four à Induction Sous Vide ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Sous Vide ?
Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four à Atmosphère ?
Quelles Plages De Température Les Fours Tubulaires Peuvent-ils Atteindre ?
Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Multizones Disponibles ?
Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Verticaux Disponibles ?
Quels Sont Les Types De Fours à Induction Sous Vide Disponibles ?
Quels Types De Matériaux Peuvent être Traités Dans Un Four à Vide ?
Quels Types De Gaz Peuvent être Utilisés Dans Un Four à Atmosphère ?
Les Fours Tubulaires Peuvent-ils Fonctionner Sous Différentes Atmosphères ?
Pourquoi Choisir Un Four Tubulaire Vertical Plutôt Qu'horizontal ?
Pourquoi Le Contrôle De La Température Est-il Important Dans Les Fours à Induction Sous Vide ?
Quelle Est La Différence Entre Les Fours à Vide à Paroi Chaude Et à Paroi Froide ?
Quels Sont Les Dispositifs De Sécurité Disponibles Dans Les Fours à Atmosphère Avancés ?
Qu'est-ce Qui Rend Les Fours Tubulaires KINTEK Si Spéciaux ?
Quelles Plages De Température Les Fours Tubulaires Verticaux Peuvent-ils Atteindre ?
Quels Matériaux Peuvent être Traités Dans Un Four à Induction Sous Vide ?
Les Fours à Vide Peuvent-ils être Personnalisés Pour Des Applications Spécifiques ?
Les Fours Tubulaires Verticaux Sont-ils Personnalisables ?
Quels Sont Les Avantages De L'environnement Sous Vide Pour Le Traitement Des Matériaux ?
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Machine à four tubulaire CVD à zones de chauffage multiples pour équipement de dépôt chimique en phase vapeur
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