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Four tubulaire PECVD à diapositives avec gazogène liquide Machine PECVD

CVD & PECVD Furnace

Four tubulaire PECVD à diapositives avec gazogène liquide Machine PECVD

Numéro d'article : KT-PE12

Le prix varie en fonction de Spécifications et personnalisations

Température maximale
1200℃
Puissance de sortie du plasma RF
5-500W
Pression nominale du vide
10Pa~6x10-4Pa
ISO & CE icon

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Déposer des couches minces avec précision

Le four tubulaire PECVD à glissière KINTEK avec gazogène liquide est un système de pointe conçu pour le dépôt polyvalent et performant de couches minces. Conçu pour répondre aux exigences rigoureuses de la recherche et de la production modernes, il combine une source de plasma RF de 500 W, un four coulissant innovant pour un cycle thermique rapide, un contrôle précis du débit de gaz et une station de vide robuste. Que ce soit pour l'électronique, les semi-conducteurs, l'optique ou la science des matériaux avancés, ce système fournit des résultats et une fiabilité exceptionnels. Chez KINTEK, nous tirons parti de notre expertise exceptionnelle en R&D et de notre fabrication interne pour fournir des solutions de fours avancées comme celle-ci, et nous offrons une forte personnalisation pour répondre précisément à vos exigences expérimentales uniques.

Principales caractéristiques et avantages

Le four tubulaire PECVD à glissière avec machine PECVD à gazogène liquide offre de nombreux avantages pour améliorer votre recherche et votre production :

  • Production d'énergie améliorée : La structure innovante du bateau en graphite améliore considérablement la puissance de sortie des plaquettes de cellules solaires.
  • Qualité uniforme des cellules : Élimine efficacement les différences de couleur dans les cellules PECVD tubulaires, garantissant ainsi des résultats homogènes.
  • Source de plasma RF polyvalente : Comprend une source de plasma RF à adaptation automatique avec une large gamme de puissance de sortie (5-500 W) pour des performances stables et adaptables à diverses applications.
  • Cycle thermique rapide : Le système de glissement de la chambre du four permet un chauffage et un refroidissement à grande vitesse, ce qui réduit considérablement le temps de traitement. La circulation d'air forcée auxiliaire accélère encore la vitesse de refroidissement.
  • Fonctionnement automatisé : Le mouvement de glissement automatisé en option améliore l'efficacité et réduit l'intervention manuelle pour des flux de travail rationalisés.
  • Gestion précise de la température : Le contrôle de la température programmable PID assure une régulation précise de la température. Il est possible d'effectuer un contrôle à distance ou centralisé pour plus de commodité et de flexibilité opérationnelle.
  • Contrôle précis des gaz : Les débitmètres massiques MFC de haute précision contrôlent précisément les gaz de source, garantissant une alimentation en gaz stable, cohérente et prémélangée.
  • Système de vide haute performance : La bride de vide en acier inoxydable avec de multiples ports d'adaptation s'adapte à diverses configurations de stations de pompage à vide, assurant un degré de vide élevé et une étanchéité fiable.
  • Interface conviviale : Équipé d'un contrôleur CTF Pro à écran tactile TFT de 7 pouces, il simplifie le réglage et le fonctionnement des programmes et permet une analyse aisée des données historiques.

Applications polyvalentes

Le four tubulaire PECVD à glissière avec gazogène liquide est idéal pour une large gamme d'applications, notamment :

  • le dépôt chimique en phase vapeur (CVD)
  • Dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD)
  • Dépôt de couches minces pour divers matériaux
  • Fabrication de cellules solaires et recherche dans ce domaine
  • Traitement des semi-conducteurs
  • Recherche et développement en nanotechnologie
  • Études sur la science des matériaux avancés
  • Recherche et développement généraux dans des atmosphères contrôlées

Découvrez nos configurations de systèmes

KINTEK propose différentes configurations de systèmes CVD pour répondre à divers besoins expérimentaux. Vous trouverez ci-dessous des exemples de configurations disponibles :

Diapositive Système PECVD avec gazéificateur de liquide montrant les composants : 1. capteur de vide 2. plasma RF 3. four 4. soupape de décharge 5. vanne à clapet 6. ceinture thermique 7. débitmètre 8. gazéificateur de liquide 9. station de gaz 10. armoire
Système PECVD à glissière avec gazéificateur liquide (Légende : 1.Capteur de vide 2.Plasma RF 3.Four 4.Soupape de décharge 5.Clapet à battant 6.Courroie thermique 7.Débitmètre 8.Gazéificateur liquide 9.Station de gaz 10.Armoire)
Système PECVD à glissière avec configuration de four à double tube divisé
Système PECVD à glissière avec four à double tube divisé
Système PECVD à tube divisé doté d'un tube de grand diamètre
Système PECVD à tube divisé avec tube de grand diamètre
Contrôleur de débit massique à 4 canaux Système PECVD avec station de vide poussé
Système PECVD MFC à 4 canaux avec station à vide poussé

Principe de fonctionnement

La machine PECVD à four tubulaire à glissière avec gazogène liquide utilise un plasma à basse température pour générer une décharge lumineuse dans la cathode de la chambre de traitement (plateau d'échantillons). La décharge lumineuse (ou une autre source de chaleur) élève la température de l'échantillon à un niveau prédéterminé. Ensuite, des quantités contrôlées de gaz de traitement sont introduites, subissant des réactions chimiques et plasmatiques pour former un film solide sur la surface de l'échantillon.

Avantages de la sécurité intégrée

  • Protection contre les surintensités et les surchauffes : Le four est équipé d'une protection contre les surintensités et d'une alarme de surchauffe, qui coupent automatiquement l'alimentation en cas de dépassement des limites.
  • Détection de défaillance du thermocouple : Une fonction intégrée de détection de thermocouple arrêtera le chauffage et déclenchera une alarme si un thermocouple cassé ou défectueux est détecté, empêchant ainsi un chauffage incontrôlé.
  • Fonction de redémarrage en cas de panne de courant : Le contrôleur PE Pro est doté d'une fonction de redémarrage en cas de panne de courant, ce qui permet au four de reprendre automatiquement son programme de chauffage une fois que le courant est rétabli après une panne.

Spécifications techniques

Modèle de four KT-PE12-60
Température maximale 1200℃
Température de travail constante 1100℃
Matériau du tube du four Quartz de haute pureté
Diamètre du tube du four 60 mm
Longueur de la zone de chauffage 1x450mm
Matériau de la chambre Fibre d'alumine japonaise
Élément chauffant Bobine de fil Cr2Al2Mo2
Vitesse de chauffe 0-20℃/min
Couple thermique Type K intégré
Contrôleur de température Régulateur PID numérique/écran tactile
Précision du contrôle de la température ±1℃
Distance de glissement 600 mm
Unité plasma RF
Puissance de sortie 5 -500W réglable avec une stabilité de ± 1%
Fréquence RF 13,56 MHz ±0,005% de stabilité
Puissance de réflexion 350W max.
Adaptation Automatique
Bruit
Refroidissement Refroidissement par air.
Unité de contrôle précis du gaz
Débitmètre Débitmètre massique MFC
Canaux de gaz 4 canaux
Débit MFC1 : 0-5SCCM O2
MFC2 : 0-20SCMCH4
MFC3 : 0- 100SCCM H2
MFC4 : 0-500 SCCM N2
Linéarité ±0,5 % DE L'E.M.
Répétabilité ±0,2 % DE L'E.M.
Tuyau et vanne Acier inoxydable
Pression de fonctionnement maximale 0,45 MPa
Contrôleur de débitmètre Contrôleur numérique à bouton/écran tactile
Unité de vide standard (en option)
Pompe à vide Pompe à vide à palettes
Débit de la pompe 4L/S
Orifice d'aspiration du vide KF25
Jauge à vide Jauge à vide Pirani/Résistance en silicone
Pression nominale du vide 10Pa
Unité de vide poussé (en option)
Pompe à vide Pompe à palettes+pompe moléculaire
Débit de la pompe 4L/S+110L/S
Port d'aspiration du vide KF25
Jauge à vide Jauge à vide composée
Pression nominale du vide 6x10-4Pa
Les spécifications et configurations ci-dessus peuvent être personnalisées.

Contenu de l'emballage standard

Non. Description Quantité
1 Fourneau 1
2 Tube de quartz 1
3 Bride à vide 2
4 Bloc thermique du tube 2
5 Crochet du bloc thermique du tube 1
6 Gant résistant à la chaleur 1
7 Source de plasma RF 1
8 Contrôle précis des gaz 1
9 Unité de vide 1
10 Manuel d'utilisation 1

Personnalisation et configurations optionnelles

Chez KINTEK, nous sommes fiers de notre forte capacité de personnalisation. Nous pouvons adapter le four tubulaire Slide PECVD pour répondre précisément à vos exigences expérimentales uniques. Les configurations optionnelles disponibles sont les suivantes

  • Détection et surveillance des gaz dans le tube (par exemple, H2, O2)
  • Systèmes indépendants de surveillance et d'enregistrement de la température du four
  • Port de communication RS 485 pour le contrôle à distance par PC et l'exportation de données
  • Contrôle personnalisé du débit d'alimentation en gaz (débitmètres massiques ou à flotteur)
  • Contrôleur de température à écran tactile avancé avec des fonctions polyvalentes et conviviales pour l'opérateur
  • Diverses configurations de stations de pompage à vide poussé (par exemple, pompe à vide à palettes, pompe moléculaire, pompe à diffusion).

Faites équipe avec KINTEK pour vos besoins en matière de fours avancés

Le four tubulaire PECVD à glissière de KINTEK est conçu pour l'adaptabilité et la haute performance. Nous comprenons que votre recherche est unique. Tirez parti de nos fortes capacités de personnalisation pour adapter ce système à vos spécifications exactes. Que vous ayez besoin de différentes plages de température, de configurations de gaz spécifiques, de fonctions de contrôle avancées ou de configurations de vide uniques, notre équipe d'experts est prête à vous aider.

Prêt à améliorer votre recherche ou votre production ? Discutez de vos besoins avec nos experts et obtenez un devis personnalisé. S'il vous plaît remplir notre formulaire de contact et l'un de nos spécialistes vous contactera rapidement pour vous aider à configurer la solution PECVD idéale !

FAQ

Qu'est-ce Qu'un Four Tubulaire Et Comment Fonctionne-t-il ?

Un four tubulaire est un dispositif de chauffage qui génère de la chaleur par l'intermédiaire d'une source de chaleur et transfère cette chaleur à la pièce ou au milieu par l'intermédiaire du tube du four. Il fournit un chauffage stable et uniforme adapté à diverses applications industrielles. Le système de contrôle de la température surveille la température du four à l'aide de thermocouples ou d'autres capteurs, et renvoie le signal au contrôleur qui ajuste la puissance de sortie des éléments chauffants pour maintenir un contrôle précis de la température.

Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours Tubulaires Multizones ?

Les fours tubulaires multizones sont utilisés dans diverses applications commerciales et de recherche, notamment la production de semi-conducteurs et de batteries, la fabrication de thermocouples et de câbles à isolation minérale, le brasage et le traitement thermique sous vide, le durcissement et le frittage sous vide, les essais sur l'eau, les déchets et le sol, les essais sur les céramiques et les métaux dans l'aérospatiale, l'analyse du pétrole et du gaz, les piles à combustible à oxyde solide et la production de composites polymères et de graphène. Ils sont également utilisés pour les traitements thermiques des métaux (trempe, revenu, recuit), le préchauffage pour le soudage, le frittage des céramiques et de la métallurgie des poudres, les traitements de revêtement et les expériences de recherche sur les matériaux.

Quel Est Le Principe D'une Machine CVD ?

Le principe du dépôt chimique en phase vapeur (CVD) consiste à introduire dans une chambre de réaction la vapeur de réactifs gazeux ou liquides contenant des éléments de film et d'autres gaz nécessaires. En appliquant de l'énergie sous la forme d'une augmentation de la température, d'une action plasma, d'un rayonnement lumineux ou d'autres moyens, des réactions chimiques se produisent à la surface du substrat, générant de nouvelles substances solides qui se déposent sous forme de films minces. Le principe de fonctionnement d'un four CVD consiste à introduire des gaz précurseurs dans la chambre du four, où des températures élevées provoquent la réaction ou la décomposition de ces gaz à proximité de la surface du substrat. Le matériau souhaité se dépose sur le substrat sous la forme d'un film solide, tandis que les sous-produits et les gaz non utilisés sont évacués par un système d'échappement ou de vide.

Quelles Sont Les Applications Courantes D'un Four à Tube Divisé ?

Les fours à tubes divisés sont couramment utilisés pour les essais de matériaux (tels que les essais de traction), la pyrolyse de matériaux organiques, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) pour le dépôt de couches minces, la graphitisation de matériaux contenant du carbone et le frittage de céramiques. Ces applications bénéficient du contrôle précis de la température et de la facilité de manipulation des échantillons qu'offrent les fours à tubes divisés.

Qu'est-ce Qu'un Four Tubulaire Vertical ?

Un four tubulaire vertical est un dispositif de chauffage à haute température conçu dans une orientation verticale, offrant un contrôle précis de la température, un chauffage uniforme et une utilisation efficace de l'énergie. Sa conception verticale permet d'économiser de l'espace et est particulièrement utile pour les processus qui bénéficient d'une configuration verticale.

Quelles Sont Les Principales Applications Des Fours Tubulaires ?

Les fours tubulaires sont largement utilisés pour les essais de trempe sous vide ou dans des conditions atmosphériques, les applications de traitement thermique, y compris les synthèses et les purifications, l'oxydation, la diffusion, la calcination et le recuit thermique de composés inorganiques ou organiques. Ils sont également utilisés dans les essais de matériaux, le traitement thermique et les réactions chimiques où des vitesses de chauffage et de refroidissement contrôlées sont nécessaires. Les fours tubulaires verticaux sont particulièrement adaptés aux processus dans lesquels les échantillons doivent être introduits dans le four par le haut.

Quelles Sont Les Principales Caractéristiques Des Fours Tubulaires Multizones ?

Les principales caractéristiques sont les suivantes 1) des capacités de recuit et de dépôt chimique en phase vapeur flexibles, 2) la possibilité d'accueillir des échantillons jusqu'à 60 mm (2 pouces), 3) un collecteur intégré pour faciliter l'acheminement du gaz, 4) des gradients de température naturels avec des extrémités plus froides et un chauffage uniforme au centre, 5) l'adaptabilité à différents gaz ou conditions de vide, et 6) plusieurs zones de chauffage contrôlées de manière indépendante pour des profils de température précis.

Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'une Machine CVD ?

Le dépôt en phase vapeur par procédé chimique permet d'obtenir une pureté, une uniformité et une conformité élevées, ce qui le rend adapté au revêtement de géométries complexes. Il est utilisé dans des industries telles que les semi-conducteurs, l'aérospatiale et le biomédical. Contrairement au dépôt en phase vapeur (PVD), le dépôt en phase vapeur n'est pas limité à une application en ligne de mire, et le revêtement se lie à la surface pendant la réaction, ce qui crée une adhérence supérieure.

Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'un Four à Tube Fendu ?

Un four à tube divisé offre généralement des options pour 1, 2, 3 ou 5 zones chauffées, avec une longueur chauffée allant de 200 à 600 mm et un diamètre chauffé de 40 à 100 mm. Il comprend un système de refroidissement par air forcé à double couche pour garantir une température sûre et utilise un serpentin de chauffage comme source de chaleur, capable d'atteindre des températures allant jusqu'à 1 200 °C. Le four est conçu avec un tube cylindrique fendu dans le sens de la longueur, souvent en deux moitiés reliées par des charnières et équipées d'amortisseurs pneumatiques pour un fonctionnement en douceur.

Quelles Sont Les Applications D'un Four Tubulaire Vertical ?

Les fours tubulaires verticaux sont largement utilisés dans les essais de matériaux, le traitement thermique et les réactions chimiques nécessitant des vitesses de chauffage et de refroidissement contrôlées. Ils sont également utilisés en génie chimique pour la production de résines synthétiques, de caoutchouc, de peintures et de colorants, dans l'industrie alimentaire pour la cuisson, le séchage et la stérilisation, et dans la métallurgie pour les processus de fonte, de fusion et de traitement thermique.

Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire ?

Les fours tubulaires offrent plusieurs avantages, notamment une technologie mature, une structure de four simple, une faible consommation d'énergie, un rendement thermique élevé, une facilité d'utilisation et de contrôle, une capacité de production continue, un contrôle précis de la température, une distribution uniforme de la température et une adaptabilité à différentes atmosphères. Ils permettent également un rendement plus élevé des produits, une forte concentration des produits et la possibilité de récupérer la majeure partie des gaz de craquage et des gaz de combustion. Plusieurs fours peuvent être combinés pour une production à grande échelle.

Comment Fonctionne Un Four Tubulaire Multizone ?

Un four tubulaire multizone fonctionne en 1) générer de la chaleur par le biais de plusieurs éléments chauffants contrôlés indépendamment, 2) transférer cette chaleur uniformément à travers le tube du four vers la pièce à usiner, 3) créer des gradients de température précis (pour des processus tels que la croissance de films CVD) ou des zones étendues à température constante (lorsque plusieurs zones sont réglées à la même température), et 4) maintenir des conditions de chauffage stables adaptées à divers processus industriels.

Quelles Sont Les Applications D'une Machine CVD ?

Le dépôt en phase vapeur par procédé chimique est utilisé dans diverses applications, notamment la production de dispositifs semi-conducteurs (couches isolantes en nitrure de silicium, par exemple), les revêtements optiques, les revêtements de protection et les matériaux avancés tels que le graphène et les nanotubes de carbone, qui ont des propriétés électriques, thermiques et mécaniques uniques. Elle est également utilisée pour déposer des films conformes et modifier les surfaces des substrats comme les techniques traditionnelles ne peuvent le faire. Les applications comprennent le dépôt de couches atomiques, les circuits intégrés, les dispositifs photovoltaïques, les revêtements résistants à l'usure, les revêtements polymères aux propriétés particulières, les cadres métallo-organiques pour la détection des gaz et les revêtements membranaires pour le traitement de l'eau.

Comment Fonctionne Un Four à Tube Divisé ?

Un four à tube divisé fonctionne en générant de la chaleur par l'intermédiaire d'un serpentin de chauffage, qui transfère ensuite cette chaleur à la pièce ou au milieu à l'intérieur du tube du four. Ce processus garantit un chauffage stable et uniforme, ce qui le rend adapté à diverses applications industrielles et de laboratoire. Le four peut être configuré avec plusieurs zones chauffées et comprend des caractéristiques telles que le refroidissement par air forcé pour maintenir des températures externes sûres.

Quels Sont Les Avantages D'un Four Tubulaire Vertical ?

Les fours tubulaires verticaux présentent plusieurs avantages, notamment un encombrement plus faible que les fours horizontaux, ce qui les rend idéaux pour les laboratoires disposant d'un espace limité. Ils offrent également un fonctionnement efficace et économe en énergie, un contrôle précis de la température, une flexibilité d'utilisation, une facilité de fonctionnement, une sécurité, une fiabilité et une conformité aux normes environnementales.

Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Disponibles ?

Il existe différents types de fours tubulaires, notamment les fours tubulaires à quartz de laboratoire, les fours tubulaires rotatifs à zones de chauffage multiples séparées, les fours tubulaires à zones multiples, les fours tubulaires à haute température (jusqu'à 1 700 °C), les fours tubulaires PECVD pour le dépôt de couches minces, les fours tubulaires à vide et les fours tubulaires verticaux. Ces fours sont dotés de différentes caractéristiques telles que le chauffage rapide, l'inclinaison réglable, la rotation à 360°, les zones de chauffage personnalisables et la préparation au vide pour s'adapter à différentes applications.

Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four Tubulaire Multizone ?

Les avantages sont les suivants 1) Technologie mature et fiable avec une structure de four simple, 2) Faible consommation d'énergie avec un rendement thermique élevé, 3) Facilité d'utilisation et contrôle précis, 4) Capacité de production continue, 5) Capacité de créer des zones de chauffage uniformes étendues ou des gradients de température précis, 6) Rendements de produits plus élevés dans les processus chimiques, 7) Capacité de récupérer les gaz de processus, 8) Application à de nombreuses matières premières, et 9) Capacité d'obtenir des conditions de chauffage stables adaptées à divers processus industriels. Large applicabilité des matières premières, et 9) Extensibilité grâce à la combinaison de fours pour la production à grande échelle.

Quelles Sont Les Principales Caractéristiques D'une Machine CVD ?

Les principales caractéristiques d'un four CVD sont une capacité de température élevée (allant généralement de 200°C à plus de 1500°C), un contrôle précis du flux de gaz, un contrôle de l'atmosphère (vide, pression atmosphérique ou environnements à basse pression), un chauffage uniforme pour un dépôt régulier de couches minces et un système d'échappement efficace pour éliminer les sous-produits et les gaz qui n'ont pas réagi. Les principales caractéristiques d'un procédé de revêtement par dépôt chimique en phase vapeur comprennent l'application à des températures élevées pour faciliter la réaction, généralement sous vide. Les contaminants doivent être éliminés de la surface de la pièce avant le revêtement.

Quels Sont Les Avantages De L'utilisation D'un Four à Tube Divisé ?

Les principaux avantages d'un four à tube divisé sont un chargement et un déchargement simplifiés des échantillons ou de l'équipement, une réduction des temps d'arrêt et une efficacité accrue. La conception en deux parties permet un accès rapide à la chambre du four, ce qui est particulièrement avantageux pour les applications nécessitant des changements fréquents ou des montages expérimentaux complexes. En outre, des caractéristiques telles que les amortisseurs pneumatiques et les zones de chauffage multiples améliorent encore la facilité d'utilisation et les performances.

Comment Fonctionne Un Four à Tube Vertical ?

Un four tubulaire vertical génère de la chaleur par l'intermédiaire d'une source de chaleur et transfère cette chaleur à la pièce ou au milieu chauffé par l'intermédiaire du tube du four. Ce processus garantit un chauffage stable et uniforme, ce qui le rend adapté à diverses applications industrielles.

Quelles Plages De Température Les Fours Tubulaires Peuvent-ils Atteindre ?

Les fours tubulaires sont disponibles dans différentes gammes de température pour répondre à différentes applications. Les modèles standard atteignent généralement 1200°C, tandis que les modèles à haute température peuvent atteindre 1400°C à 1700°C. Certains modèles spécialisés peuvent même atteindre 2000°C. La capacité de température dépend des éléments chauffants et des matériaux utilisés pour les tubes du four (tels que le quartz ou l'alumine).

Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Multizones Disponibles ?

Les types disponibles sont les suivants 1) les fours tubulaires rotatifs à zones de chauffage multiples séparées (avec possibilité d'inclinaison et de rotation), 2) les fours tubulaires à quartz de laboratoire (jusqu'à 1 700 °C avec 1 à 10 zones), 3) les fours de traitement thermique rapide (RTP) avec des vitesses de chauffage rapides, 4) les fours tubulaires CVD pour le dépôt chimique en phase vapeur, 5) les fours PECVD pour les processus améliorés par plasma, 6) les fours tubulaires à vide et 7) les fours tubulaires à haute pression. Ces fours sont disponibles dans différentes configurations avec des numéros de zone personnalisables, des plages de température et des caractéristiques spéciales telles que le contrôle du vide et de l'atmosphère.

Quels Sont Les Types De Machines CVD Disponibles ?

Il existe plusieurs types de machines CVD, notamment des systèmes de machines MPCVD à résonateur cylindrique pour la croissance de diamants en laboratoire, des fours tubulaires CVD polyvalents sur mesure pour le dépôt chimique en phase vapeur, des fours tubulaires PECVD à glissière avec gazéificateurs de liquide, des machines de four à presse à chaud sous vide, des fours tubulaires rotatifs inclinés pour le dépôt chimique amélioré par plasma (PECVD), des fours tubulaires CVD à chambre divisée avec stations de vide et des systèmes RF PECVD pour le dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma à radiofréquence. Chaque type est conçu pour des applications spécifiques et offre des caractéristiques uniques.

Quelle Température Un Four à Tubes Fendus Peut-il Atteindre ?

Un four à tube divisé peut atteindre une température maximale de 1 200 °C, ce qui le rend adapté aux applications à haute température telles que la synthèse de matériaux, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le frittage. Le four utilise un serpentin de chauffage comme source de chaleur et comprend un système de refroidissement par air forcé à deux couches pour maintenir des températures externes sûres pendant le fonctionnement.

Quels Sont Les Types De Fours Tubulaires Verticaux Disponibles ?

Les fours tubulaires verticaux se présentent sous différentes formes, notamment avec une ou plusieurs zones de chauffage, des capacités de traitement thermique rapide (RTP), des stations de vide et des solutions personnalisables pour les besoins spécifiques des laboratoires, comme le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (PECVD).

Les Fours Tubulaires Peuvent-ils Fonctionner Sous Différentes Atmosphères ?

Oui, les fours tubulaires sont polyvalents et peuvent fonctionner dans diverses atmosphères, notamment l'air, les gaz inertes (comme l'argon ou l'azote), le vide et des mélanges de gaz spécialisés. Ils conviennent donc à un large éventail de procédés, notamment l'oxydation, la réduction, le recuit et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). De nombreux modèles sont conçus pour fonctionner sous vide et sont équipés de systèmes de contrôle des gaz pour une gestion précise de l'atmosphère.

Pourquoi La Conception En Deux Parties Est-elle Avantageuse Dans Un Four Tubulaire ?

La conception en deux parties d'un four tubulaire est avantageuse car elle permet un accès rapide et facile à la chambre du four. Cette conception, qui comprend souvent deux moitiés articulées avec des amortisseurs pneumatiques, simplifie la manipulation de montages complexes ou d'échantillons de grande taille, réduit les temps d'arrêt et améliore l'efficacité globale, en particulier dans les applications nécessitant des changements fréquents ou des configurations complexes.

Pourquoi Choisir Un Four Tubulaire Vertical Plutôt Qu'horizontal ?

Le choix d'un four tubulaire vertical par rapport à un four horizontal s'explique principalement par son faible encombrement et par la possibilité de bénéficier de procédés assistés par la gravité. La configuration verticale permet une distribution uniforme de la chaleur et des matériaux, ce qui la rend idéale pour des expériences ou des processus de fabrication spécifiques.

Qu'est-ce Qui Rend Les Fours Tubulaires KINTEK Si Spéciaux ?

Les fours tubulaires KINTEK se distinguent par la précision de leur contrôle de température (certains modèles offrant un chauffage rapide jusqu'à 100°C/sec), des zones de chauffage personnalisables (de 1 à 10 zones), des conceptions prêtes pour le vide et des certifications de sécurité. Ils offrent des solutions polyvalentes pour des applications avancées telles que la synthèse de matériaux, le dépôt chimique en phase vapeur, le frittage et la recherche sur les semi-conducteurs, avec des options pour les mécanismes rotatifs, les chambres divisées et les configurations améliorées par le plasma.

Quelles Plages De Température Les Fours Tubulaires Verticaux Peuvent-ils Atteindre ?

Les fours tubulaires verticaux peuvent atteindre des températures élevées, généralement jusqu'à 1 800 °C, selon le modèle et la configuration. Ils sont conçus pour un chauffage de précision et peuvent être personnalisés pour répondre à des exigences de température spécifiques pour diverses applications.

Les Fours Tubulaires Verticaux Sont-ils Personnalisables ?

Oui, les fours tubulaires verticaux sont hautement personnalisables. Ils peuvent être personnalisés avec des caractéristiques telles que des zones de chauffage multiples, des capacités de chauffage rapide, des systèmes de vide et des contrôles d'atmosphère spécifiques pour répondre aux besoins uniques des différentes applications industrielles et de recherche.
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Produits

Four tubulaire PECVD à diapositives avec gazogène liquide Machine PECVD

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Cvd & Pecvd Furnace

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Four rotatif incliné pour le dépôt chimique amélioré par plasma (PECVD)

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Four tubulaire PECVD avancé pour le dépôt précis de couches minces. Chauffage uniforme, source de plasma RF, contrôle des gaz personnalisable. Idéal pour la recherche sur les semi-conducteurs.

1700℃ Four tubulaire de laboratoire à haute température avec tube en quartz ou en alumine

1700℃ Four tubulaire de laboratoire à haute température avec tube en quartz ou en alumine

Four tubulaire KINTEK avec tube en alumine : Chauffage de précision jusqu'à 1700°C pour la synthèse de matériaux, le dépôt chimique en phase vapeur et le frittage. Compact, personnalisable et prêt pour le vide. Explorer maintenant !

Four tubulaire rotatif à inclinaison sous vide de laboratoire Four tubulaire rotatif

Four tubulaire rotatif à inclinaison sous vide de laboratoire Four tubulaire rotatif

Four rotatif de laboratoire KINTEK : chauffage de précision pour la calcination, le séchage et le frittage. Solutions personnalisables avec vide et atmosphère contrôlée. Améliorez la recherche dès maintenant !

Four tubulaire rotatif à fonctionnement continu scellé sous vide Four tubulaire rotatif

Four tubulaire rotatif à fonctionnement continu scellé sous vide Four tubulaire rotatif

Four tubulaire rotatif de précision pour le traitement continu sous vide. Idéal pour la calcination, le frittage et le traitement thermique. Personnalisable jusqu'à 1600℃.

1200℃ Four à tube divisé Four à tube à quartz de laboratoire avec tube à quartz

1200℃ Four à tube divisé Four à tube à quartz de laboratoire avec tube à quartz

Découvrez le four à tube divisé 1200℃ de KINTEK avec tube en quartz pour des applications de laboratoire précises à haute température. Personnalisable, durable et efficace. Obtenez le vôtre maintenant !

Four tubulaire sous vide à haute pression pour laboratoire Four tubulaire à quartz

Four tubulaire sous vide à haute pression pour laboratoire Four tubulaire à quartz

Four tubulaire à haute pression KINTEK : chauffage de précision jusqu'à 1100°C avec un contrôle de la pression de 15Mpa. Idéal pour le frittage, la croissance des cristaux et la recherche en laboratoire. Solutions personnalisées disponibles.

RF PECVD System Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma)

RF PECVD System Radio Frequency Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma)

Système KINTEK RF PECVD : Dépôt de couches minces de précision pour les semi-conducteurs, l'optique et les MEMS. Processus automatisé à basse température avec une qualité de film supérieure. Solutions personnalisées disponibles.

1400℃ Four tubulaire de laboratoire à haute température avec tube en quartz et alumine

1400℃ Four tubulaire de laboratoire à haute température avec tube en quartz et alumine

Four tubulaire KINTEK avec tube en alumine : Traitement de précision à haute température jusqu'à 2000°C pour les laboratoires. Idéal pour la synthèse de matériaux, le dépôt chimique en phase vapeur et le frittage. Options personnalisables disponibles.

Four rotatif électrique Petit four rotatif Usine de pyrolyse de la biomasse Four rotatif

Four rotatif électrique Petit four rotatif Usine de pyrolyse de la biomasse Four rotatif

Le four rotatif de pyrolyse de la biomasse de KINTEK convertit efficacement la biomasse en biochar, biohuile et gaz de synthèse. Personnalisable pour la recherche ou la production. Obtenez votre solution maintenant !

Fours de frittage par étincelage et plasma SPS

Fours de frittage par étincelage et plasma SPS

Découvrez le four de frittage par plasma étincelant (SPS) de KINTEK pour un traitement rapide et précis des matériaux. Solutions personnalisables pour la recherche et la production.

Traversée d'électrode sous ultra-vide Connecteur à bride Câble d'alimentation pour applications de haute précision

Traversée d'électrode sous ultra-vide Connecteur à bride Câble d'alimentation pour applications de haute précision

Traversées d'électrodes pour l'ultra-vide pour des connexions UHV fiables. Options de brides personnalisables à haute étanchéité, idéales pour les semi-conducteurs et les applications spatiales.

Vanne d'arrêt à bille en acier inoxydable 304 316 pour les systèmes de vide

Vanne d'arrêt à bille en acier inoxydable 304 316 pour les systèmes de vide

Les vannes à bille et les vannes d'arrêt à vide en acier inoxydable 304/316 de KINTEK assurent une étanchéité de haute performance pour les applications industrielles et scientifiques. Découvrez des solutions durables et résistantes à la corrosion.

Four de pressage à chaud sous vide Machine de pressage sous vide chauffée

Four de pressage à chaud sous vide Machine de pressage sous vide chauffée

Four de pressage à chaud sous vide KINTEK : chauffage et pressage de précision pour une densité de matériau supérieure. Personnalisable jusqu'à 2800°C, idéal pour les métaux, les céramiques et les composites. Explorez les fonctions avancées dès maintenant !

Raccord à bride KF ISO CF en acier inoxydable pour ultravide Tube droit Té transversal

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Systèmes de tubes à brides en acier inoxydable KF/ISO/CF pour applications de précision. Personnalisables, durables et étanches. Obtenez des solutions d'experts dès maintenant !

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