Le four tubulaire à 3 zones est un équipement polyvalent conçu pour des applications de traitement thermique précises telles que le recuit et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD).Il comporte trois zones de chauffage à commande indépendante, ce qui permet d'obtenir une excellente uniformité de température et de contrôler le gradient.Le four peut accueillir des échantillons d'une taille allant jusqu'à 60 mm et prend en charge l'alimentation en gaz à différentes pressions, y compris les conditions atmosphériques et sub-atmosphériques.Ses principales caractéristiques sont la souplesse de manipulation des gaz, la production minimale de particules et la compatibilité avec des gaz de traitement tels que Ar, 4%H2 dans Ar et N2.Ces caractéristiques en font un outil idéal pour la recherche et les applications industrielles nécessitant des environnements thermiques contrôlés.
Explication des points clés :
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Capacités de traitement thermique flexibles
- Le four four tubulaire à 3 zones est conçu pour le recuit et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) à des températures inférieures à 1000°C.
- Trois zones de chauffage contrôlées indépendamment permettent d'obtenir des gradients de température précis, essentiels pour un traitement uniforme des matériaux.
- Les applications comprennent le frittage sous vide (amélioration de la densité du matériau) et le recuit sous vide (réduction des contraintes et uniformisation de la microstructure).
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Manipulation des échantillons et compatibilité des tailles
- La taille des échantillons peut aller jusqu'à 60 mm (2 pouces), ce qui convient aux expériences à petite et moyenne échelle.
- Les conceptions verticales minimisent la production de particules, tandis que les systèmes de transfert automatique de plaquettes/boîtes améliorent la productivité.
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Système avancé de distribution de gaz
- Équipé d'un collecteur pour l'introduction de gaz de traitement/purge (par exemple, Ar, 4%H2 dans Ar, N2) à des pressions atmosphériques ou sub-atmosphériques.
- La compatibilité des tubes en quartz garantit l'inertie chimique et la stabilité à haute température.
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Contrôle de la température et de l'atmosphère
- Excellente répartition de la température entre les zones, essentielle pour obtenir des résultats cohérents dans la synthèse des matériaux.
- Prise en charge du traitement sous vide ou sous atmosphère contrôlée, permettant des traitements sensibles à l'oxydation.
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Principaux composants et caractéristiques de sécurité
- Système de chauffage :Éléments de résistance électrique (par exemple, SiC, MoSi2) pour une utilisation efficace de l'énergie.
- Refroidissement :Dessiccateurs pour un transfert sûr des échantillons après le chauffage, afin d'éviter toute contamination.
- Contrôle :Les systèmes PID/PLC automatisent les profils de température et les séquences de processus.
Ces capacités rendent le four tubulaire à 3 zones indispensable pour les laboratoires et les industries qui se concentrent sur le développement de matériaux avancés, le traitement des semi-conducteurs et les traitements thermiques de précision.Sa conception modulaire et sa flexibilité en matière de gaz répondent à l'évolution des besoins de la recherche tout en garantissant la reproductibilité.
Tableau récapitulatif :
| Caractéristique | Description |
|---|---|
| Zones de chauffage | Trois zones contrôlées indépendamment pour des gradients de température précis. |
| Taille de l'échantillon | Accepte des échantillons jusqu'à 60 mm (2 pouces). |
| Alimentation en gaz | Prend en charge Ar, 4%H2 dans Ar, N2 à des pressions atmosphériques/sub-atmosphériques. |
| Contrôle de la température | Excellente uniformité pour une synthèse cohérente des matériaux. |
| Applications | Recuit, CVD, frittage sous vide et traitements sensibles à l'oxydation. |
| Sécurité et automatisation | Systèmes PID/PLC, dessiccateurs et tubes de quartz inertes pour un fonctionnement fiable. |
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