À quelles pressions les gaz peuvent-ils être introduits dans le four tubulaire à 3 zones ?Optimisez votre processus avec un contrôle flexible de la pression

Les gaz peuvent être introduits dans un four tubulaire à 3 zones à des pressions atmosphériques ou sub-atmosphériques, en fonction des exigences spécifiques de l'application.Le four est conçu pour un traitement flexible, y compris le recuit et le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), avec des capacités de température inférieures à 1000°C.Des mesures de sécurité et des fonctions de contrôle précises garantissent un fonctionnement fiable dans ces conditions de pression.

Explication des points clés :

1. Plage de pression pour l'introduction de gaz

   • Les gaz peuvent être introduits à pression atmosphérique (conditions standard) ou pressions sous-atmosphériques (vide ou pression réduite).
   • Les conditions sous-atmosphériques sont souvent utilisées pour des procédés tels que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) afin de minimiser les réactions indésirables ou d'améliorer l'uniformité du dépôt.

2. Conception et flexibilité

   • Le four four tubulaire à 3 zones est optimisé pour le recuit et le dépôt chimique en phase vapeur, avec un contrôle indépendant de la température sur trois zones pour un chauffage uniforme.
   • Il peut accueillir des échantillons d'une taille maximale de 60 mm et comprend un collecteur de gaz pour une distribution contrôlée.

3. Température et sécurité

   • Les températures de fonctionnement sont généralement inférieures à 1000°C, bien que certains modèles puissent supporter des plages plus élevées.
   • Des dispositifs de sécurité tels que la protection contre les surchauffes et les surpressions garantissent un fonctionnement stable sous des pressions de gaz variables.

4. Réglages spécifiques au procédé

   • Pour le dépôt en phase vapeur (CVD), les pressions sub-atmosphériques peuvent être préférées pour améliorer la diffusion des gaz et la cinétique des réactions.
   • Le recuit peut utiliser la pression atmosphérique pour plus de simplicité, en fonction des exigences du matériau.

5. Intégration aux systèmes de vide

   • Si des pressions sous-atmosphériques sont nécessaires, le four peut être associé à un système de pompe à vide, bien que cela dépende du modèle et de la configuration spécifiques.

6. Sécurité de l'opérateur

   • Une ventilation adéquate et des EPI (par exemple, gants résistant à la chaleur, lunettes de sécurité) sont essentiels lors de la manipulation de gaz à différentes pressions.
   • Les procédures d'arrêt d'urgence doivent être clairement comprises.

Cette flexibilité rend le four tubulaire à 3 zones Le four tubulaire à trois zones convient à diverses applications, de la recherche sur les matériaux au traitement des semi-conducteurs.L'ajustement des paramètres de pression correspondrait-il à vos objectifs de traitement spécifiques ?

Tableau récapitulatif :

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